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       針對誤差的不同類型，實施誤差補償可分為兩大類。隨機誤差補償要求“在線測量”，把誤差檢測裝置直接安裝在機床上，在機床工作的同時，實時地測出相應 位置的誤差值，用此誤差值實時的對加工指令進行修正。隨機誤差補償對機床的誤差性質沒有要求，能夠同時對機床的隨機誤差和系統誤差進行補償。但需要一整套完整的高精度測量裝置和其它相關的 設備，成本太高，經濟效益不好。迄今為止，國內外對系統誤差的補償方法有很多，這里主要介紹最常見的單項誤差合成補償法。
      這種補償方法是以誤差合成公式為理論依據，首先通過直接測量法測得機床的各項單項原始誤差值，由誤差合成公式 計算 補償點的誤差分量，從而實現對機床 的誤差補償。對三坐標測量機進行位置誤差測量的當屬Leete, 運用三角幾何關系,推導出了機床各坐標軸誤差的表示方法,沒有考慮轉角的影響。較早進行誤差補償的應是Hocken教授，針對型號Moore 5 -Z(1)的三坐標測量機，在16小時內，測量了工作空間內大量的點的誤差，在此過程中考慮了溫度的影響，并用最小二乘法對誤差模型參數進行了辨識。
      由于機床運動的位置信號直接從激光干涉儀獲得，考慮了角度和直線度誤差的影響，獲得比較滿意的結果。1985年G. Zhang成功的對三坐標測量機進行了誤差補 償。測量了工作臺平面度誤差，除在工作臺邊緣數值稍大，其它不超過1μm，驗證了剛體假設的可靠性。使用激光干涉儀和水平儀測量得的21項誤差，通過線性坐標變換進行誤差合成，并實施了誤差補 償。X-Y平面上測量試驗表明，補償前,在所有測量點中誤差值大于20μm的點占20％，在補償后，不超過20％的點的誤差大于2μm，證明精度提高了近10倍。
      除了坐標測量機的誤差補償以外，數控機床誤差補償的研究也取得了一定的成果。在1977年Schultschik教授運用矢量圖的方法，分析了機床各部件誤差及其對幾 何精度的影響，奠定了機床幾何誤差進一步研究的基礎。FerrEira和其合作者也對該方法進行了研究，得出了機床幾何誤差的通用模型,對單項誤差合成補償法作出了貢獻。
      J.Ni et al更進一步將該方法運用于在線的誤差補償,獲得了比較理想的結果。Chen et al建立了32項誤差模型，其中多余的11項是有關溫度和機床原點誤差參數 ，對臥式加工中心的補償試驗表明，精度提高10倍。Eung-Suk Lea et al幾乎使用了同G. Zhang一樣的測量方法，對三坐標Bridge port銑床21項誤差進行了測量，運用誤差合成法得出了誤差模型，補償 后的結果分別用激光干涉儀和Renishaw的DBB系統進行了檢驗，證明機床精度得以提升。